六氟化硫（sulfur hexafluoride）是一種無色、無臭、無毒、不燃的穩定氣體，化學式SF?它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，常壓下升華點溫度為-63.8℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。純凈的六氟化硫氣體雖然無毒，但是濃度過大會出現使人窒息的危險。在高濃度下會呼吸困難、喘息、皮膚和黏 膜變藍、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會出現四肢麻木，甚至窒息死亡 。我國規定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。

六氟化硫本身是沒有毒的，在生活或使用過程中會分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。所以六氟化硫在藥理上是惰性氣體，低毒，但是對人體有窒息作用。

六氟化硫本身對人體無毒、無害，但它卻是一種溫室效應氣體，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。吸入過濃的六氟化硫會呼吸困難，甚至窒息死亡。