先由轉動真空泵把系統抽到10-2帕擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。

側腔式真空泵由于多鰭狀片的葉輪，側腔式真空泵產生較低振動的空氣吸入，使其廣泛適合于要求精密功能的工業應用。 側腔式真空泵內部由多個圓形空心環組成，其中一半位于泵房的上下側，另一半裝于兩面都有通氣的口的葉輪的兩側。 當葉輪旋轉，每個空心環或氣室捕獲的空氣向外沖，隨后由離心力壓縮，進入側腔，然后以螺旋式運動方式進入下一個氣室。重復多次后，空氣在葉輪的整個旋轉過程中被壓縮多次。更多內容可以到貝克牌氣泵設備了解一下。