1、清洗能力強：為提高清洗效果，在真空清洗干燥機上采用了四種技術： (1) 洗浄效果高：本裝置的洗浄槽里裝有超聲波洗浄裝置。因使用炭化水素系洗浄液的超聲波效果很弱，所以洗凈槽安裝抽真空系統，使超聲波能力增強。在真空中對工件進清洗，盲孔中的氣泡被排出，洗浄液可進入盲孔中對其清洗。在真空中洗浄液中的氣體被脫氣，使超聲波能力增強。 (2)真空清洗：在真空狀態下，工件盲孔和細小縫隙中的空氣都被抽出，使溶液完全浸入工件的每個部位，清洗更徹底。真空狀態也對溶液脫氣，使超聲波效率提高。 (3)機械擺動：傳動機構使工件在清洗槽中上下左右擺動，使污物更快脫離工件。 (4)氣相清洗：用溶液蒸汽對工件進行的氣相清洗，使溶解在清洗溶液中的油污不會殘留在工件表面。 2、干燥速度快：在干燥槽內先用高溫蒸汽對工件加熱，然后使干燥槽迅速進入真空狀態，利用真空突沸效應使工件表面的清洗溶液迅速揮發。 3、溶劑再生使用：真空清洗干燥機采用多段式真空蒸餾再生裝置，使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不斷地抽入蒸餾裝置，在真空中加熱蒸發，再經過冷凝成為清潔溶劑回到清洗槽中，使清洗液始終保持清潔狀態。油污則留在蒸餾裝置底部

安全性高：真空清洗干燥機通過使用防爆電機、防爆開關、導熱油間接加熱、可燃氣體濃度報警、機門自動封閉、電源自動切斷及自動滅火等裝置確保使用安全。 洗浄槽里，安裝溶剤冷卻裝置、排氣裝置、泵、馬達帶有防爆裝置，電控箱、中繼箱里接入壓縮空氣，使其與外界隔離。真空蒸氣洗浄干燥槽雖然是使用炭化水素洗浄液蒸氣，但是在真空中的狀態下，氧氣濃度降低，確保了安全性。真空泵使用安全性高的液封式真空泵。抽真空之時的洗浄液的霧氣及蒸氣通過氣液分離進行冷凝回收，因此降低了排氣的濃度。

溶劑消耗低：在抽真空和干燥過程中通過冷凝回收裝置回收溶劑氣體，使清洗劑的損耗低于0.04% 。