在導熱油泵使用的過程中,由于真空泵油直接進入泵體內腔,在真空泵運行時, 隨著氣體壓強的逐漸降低,泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分 就能蒸發到真空的空間,即影響真空泵極限壓強的達到,又可向真空系統返流 擴散,污染。真空泵油是一種專門為真空設備上的真空泵而研制的潤滑油，分礦物油和合成油兩種。適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。真空泵專用油具有一定的粘度，粘度的高低決定了真空泵的密封性，粘度的過小，密封性則不好；粘度過高，會加大泵內葉片與缸體的摩擦力度，潤滑作用就會變差，同時，轉子的旋轉將會變得困難，電機的壓力將會變高，油溫也會越來越高。油溫的升高會加速泵油的乳化呈度，真接影響真空度的高低。

真空泵油的功能和一般的潤滑油相同，但正空泵有比一般的潤滑油水分含量更低，因為水在高真空度下回蒸發，占用泵的排量而使正空泵性能下降。

用于各種往復式(活塞式)真空泵、機械增壓泵及油封機械真空泵等真空度在1.8×107Pa以下的真空設備使用。亦可用于往復式空氣壓縮機潤滑。具有良好的抗磨、防銹、抗水、抗氧化等特性。專為現代各式高要求的真空泵壓縮機而設計。