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氣體純化器是什么?氣體純化器有什么作用?

2020-08-19 09:20:56

氣體純化器是氣體液化過程中的一個重要設備。氣體在制冷循環中逐步被冷卻降溫,在達到冷凝溫度以前,氣體中的雜質氣體將凝結成固體而附著在管道及閥門等處,甚至進入膨脹機,使得液化器停止工作,所以在液化過程中安裝純化器,按雜質的類型采取化學方法或冷凍方法或物理吸附方法去除雜質,達到氣體純化的目的。氣體純化器采用非蒸散型鋯鋁合金16吸氣劑為凈化劑,該吸氣劑主要吸氣相為Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等多種金屬間化合物,活性高,擴散活化能低,當表面吸附著氣體時,在一定溫度下容易向體內擴散,具有吸氣速率高、吸氣容量大的特點。激活后在較佳吸氣溫度范圍內能有效的吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水汽等,鋯鋁合。

氣體純化器定義為從分子水平將氣體中的雜質去除的一種產品。大連華邦的大流量超純氮氣純化器,流量10~20000Nm3/h;氣體通過吸附工序,深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC雜質,吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復使用。多柱交替吸附、再生、可實現對氣體的連續純化。感興趣的話可多了解一下。

氣體純化器主要應用于①半導體、LED/激光、太陽能光伏行業:器件制備工藝中外延、擴散、MOCVD、離子注入、等離子干刻、光刻、退火、搭接、燒結等工序設備所需的N2、H2、Ar、NH3等氣體進行純化②光纖行業:對保護氮、氦氣進行終端純化③氣體行業:對氣源氣體進行純化④冷軋行業:對保護氮氣進行純化⑤化工行業:對氮、氫、氣/液相烴類脫O2、H2O純化。

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