在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速。

泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。

壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣 口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣 口在上，排氣 口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣 口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣 口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。