這個我知道，室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。無塵室防止微粒子污染的基本原則有作業員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等；減少接觸剝離發塵的動作形態；采用磨耗發塵小的材質；采用發塵小的潤滑油；機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理；若能徹底實施“不攜入”技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。其實大概完成了這些，無塵室防止微粒子污染就基本能做到了，希望我的回答對你有幫助。

無塵室防止微粒子污染的基本原則有三項“不攜帶”，“不制造”，“不儲備”。感興趣的話可以了解一下。

無塵室防止微粒子污染的基本原則大概有通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室；機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室，等。